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一种单晶炉石墨坩埚提升装置

申请号: CN202311721793.1
申请人: 连城凯克斯科技有限公司
申请日期: 2023/12/14

摘要文本

本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种单晶炉石墨坩埚提升装置,包括提升结构,提升结构的外侧设有炉体,炉体的内部从下往上依次设有提升结构、坩埚、调节装置、入料结构和导流筒;入料结构包括:储料筒,储料筒设在炉体的侧壁,储料筒的内部用于放置多晶硅;输送管道,输送管道设在储料筒的下端,且输送管道与储料筒相连通,输送管道的另一端伸至储料筒的内部;提升结构包括:抬升轴。通过设置调节装置,可以使坩埚在抬升的过程中,将坩埚的降温与下一次使用的多晶硅原料进行预热处理同步进行,使得在进行下一次的硅单晶生产,需要将坩埚进行抬升时,不仅此时多晶硅原料已经预热完成,且坩埚也已经进行了降温处理。 来源:专利查询网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种单晶炉石墨坩埚提升装置
专利类型 发明申请
申请号 CN202311721793.1
申请日 2023/12/14
公告号 CN117702270A
公开日 2024/3/15
IPC主分类号 C30B29/06
权利人 连城凯克斯科技有限公司
发明人 孔德东; 蒋林; 王晓辉; 陈立; 李军; 李方
地址 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号

专利主权项内容

1.一种单晶炉石墨坩埚提升装置,其特征在于:包括提升结构(2),该石墨坩埚提升装置设在炉体(1)的内部,所述炉体(1)的内部从下往上依次设有提升结构(2)、坩埚(4)、调节装置(5)、入料结构(3)和导流筒(6);所述入料结构(3)包括:储料筒(31),所述储料筒(31)设在炉体(1)的侧壁,储料筒(31)的内部用于放置多晶硅;输送管道(32),所述输送管道(32)设在储料筒(31)的下端,且输送管道(32)与储料筒(31)相连通,输送管道(32)的另一端伸至储料筒(31)的内部;所述提升结构(2)包括:抬升轴(21),所述抬升轴(21)在炉体(1)的底部滑动;托盘(22),所述托盘(22)固定连接在抬升轴(21)的上表面,且托盘(22)的上表面放置有坩埚(4);所述调节装置(5)包括:放料框(504),所述放料框(504)设在炉体(1)的内部靠近导流筒(6)的一端,且放料框(504)的底部为倾斜状,放料框(504)的内壁底部开设有一周槽口;料槽口(505),所述放料框(504)的内部开设有料槽口(505),料槽口(505)设在输送管道(32)的下方;阻挡环(511),所述阻挡环(511)在放料框(504)的内壁滑动,且阻挡环(511)的初始位置位于放料框(504)内壁底部槽口的位置,且阻挡环(511)与槽口抵接。