一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘
摘要文本
本申请涉及一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，属于晶圆制造设备技术领域。本申请的有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘在使用时，通过驱动装置拨动所述驱动杆，使连杆抵抗弹性件的拉力向着盘体中心运动，带动卡紧柱底部向着盘体中心运动，卡紧柱的顶部向着远离盘体中心运动，之后由机械手将晶圆置于支撑杆上，由驱动装置放开对驱动杆的驱动，在弹性件的作用下，连杆复位，卡紧柱的顶部向着盘体中心收拢，从而将晶圆固定在卡紧柱的凹陷部内，形成对晶圆的固定。本发明的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘具有对晶圆的固定牢固的优点，减小晶圆被压碎的风险。
申请人信息
- 申请人:江苏亚电科技股份有限公司
- 申请人地址:225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号
- 发明人: 江苏亚电科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311694859.2 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117712015A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 江苏亚电科技股份有限公司 |
| 发明人 | 钱诚; 郭亚飞; 黄典礼; 彭竹云 |
| 地址 | 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号 |
专利主权项内容
1.一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：盘体(1)，所述盘体(1)中间具有中间孔(11)，用于安装在转轴上，以在转轴的带动下进行转动，所述盘体(1)包括顶面(14)和安装在顶面(14)底部的底面(12)，顶面(14)和底面(12)中间形成安装空间；支撑杆(2)，所述支撑杆(2)设置在盘体(1)顶部，用于支撑晶圆；卡紧柱(3)，为若干个，所述卡紧柱(3)包括底部(31)，位于底部(31)上的中间段(32)，位于顶端的顶段(33)，所述顶段(33)设置有凹陷部，所述凹陷部用于卡住晶圆；卡紧机构，所述卡紧机构包括驱动杆(41)、第一限位块(42)、连杆(43)、安装块(44)、连接块(45)和弹性件(46)；所述连杆(43)的一端为驱动杆(41)，所述驱动杆(41)用于与驱动装置连接，用于沿轴向拉动驱动杆(41)；所述第一限位块(42)设置在所述盘体(1)内，供所述驱动杆(41)穿过以限制所述驱动杆(41)仅能沿轴向运动；所述连杆(43)的另一端设置所述安装块(44)，所述卡紧柱(3)铰接地设置在所述安装块(44)上，所述卡紧柱(3)从所述盘体(1)上的安装孔(13)处穿出；所述连接块(45)设置在所述连杆(43)上，所述弹性件(46)与所述连接块(45)连接用于提供与驱动装置拉动驱动杆(41)的拉力方向相反的作用力。。