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一种自定位式陶瓷基板缺陷检测装置及方法

申请号: CN202311737636.X
申请人: 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日期: 2023/12/18

摘要文本

本发明公开了一种自定位式陶瓷基板缺陷检测装置及方法,属于陶瓷基板缺陷检测技术领域。包括检测平台、视觉检测装置、标记装置、搬运装置、基座、第一电机、检测料箱、不合格料箱、合格料箱;本发明检测平台使用针‑板电极结构在高压电场下快速检测陶瓷内部缺陷,通过视觉检测装置在空气环境下直接观测陶瓷基板缺陷位置产生的辉光、电晕、拉弧等漏电现象,并记录陶瓷基板发生漏电现象的位置;利用电流表保护针电极,避免陶瓷基板失效电压过大,烧毁针电极;之后,再利用标记装置将缺陷位置标记定位;最后,通过搬运装置和传送装置相互配合,使陶瓷基板自动上料送检,并自动筛分合格与不合格的陶瓷基板。。该数据由<专利查询网>整理

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种自定位式陶瓷基板缺陷检测装置及方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311737636.X
申请日 2023/12/18
公告号 CN117753690A
公开日 2024/3/26
IPC主分类号 B07C5/344
权利人 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
发明人 王斌; 季成龙; 朱凯; 陈慧龙; 张鹏
地址 江苏省盐城市东台高新区鸿达路88号

专利主权项内容

1.一种自定位式陶瓷基板缺陷检测装置,其特征在于:所述缺陷检测装置包括:检测平台(1)、视觉检测装置(2)、标记装置(3)、搬运装置(4)、基座(5)、第一电机(6)、检测料箱(7)、不合格料箱(8)、合格料箱(9)、离子风扇(10);所述基座(5)一端安装有视觉检测装置(2),所述基座(5)另一端安装有搬运装置(4),所述基座(5)上设置有检测平台(1),所述检测平台(1)位于视觉检测装置(2)下方,所述基座(5)一侧安装有标记装置(3),所述基座(5)另一侧安装有第一电机(6),所述检测料箱(7)放置在基座(5)靠近搬运装置(4)的一端,所述不合格料箱(8)和合格料箱(9)并排放置在基座(5)一侧,所述离子风扇(10)安装在基座(5)的一侧。