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一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统
摘要文本
本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配器依次相连。不规则表面波导管包括锥直形管、分叉形管以及两种形状的组合。本发明可以产生气体温度可控的大气压脉冲调制表面波等离子体，采用锥直形管配置射流形貌，采用分叉形管得到多束等离子体射流。这不仅满足不同加工精度的需求，而且能够大大降低微波能耗，提高能量利用效率。
申请人信息
- 申请人:盐城工学院; 盐城工学院技术转移中心有限公司
- 申请人地址:224051 江苏省盐城市盐南高新区新河街道办事处新怡社区新园路20号1幢401室
- 发明人: 盐城工学院; 盐城工学院技术转移中心有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311078735.1 |
| 申请日 | 2023/8/25 |
| 公告号 | CN117545163A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H05H1/46 |
| 权利人 | 盐城工学院; 盐城工学院技术转移中心有限公司 |
| 发明人 | 陈传杰; 彭东宇; 宋法根; 沈兆军; 周锋; 王如刚 |
| 地址 | 江苏省盐城市亭湖区希望大道中路1号; |
专利主权项内容
1.一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其特征在于，所述系统由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。所述微波发生与传输系统包括依次连接的微波功率源(1)、环形器(2)、双向定向耦合器(3)和三销钉调配器(4)，它们之间可直接连接或者通过波导管连接。所述微波功率测量系统是利用同轴线将微波功率计(5)与双向定向耦合器(3)的正向和反向耦合端口连接，分别测量入射功率和反射功率。所述表面波发生器为波导型的Surfaguide等离子体发生器(6)，其一端通过波导管连接或者直接连接三销钉调配器(4)，另一端设置可移动的金属挡板，挡板与端面保持平行且尺寸大小相等，挡板位置可由手动或者步进电机进行调节，使其能够移动至耦合孔与末端之间的任意位置。所述不规则表面波导管(7)包括锥直形管、分叉形管以及两种形状组合，其圆柱形且长度较长的一端穿过表面波发生器的耦合孔。所述供气系统(8)包括依次连接的气源、气体减压阀、质量流量控制器、气体混合器以及连通气路的气管组成，通入表面波导管圆柱形且长度较长的一端。