一种无损探测像差修正装置及其方法

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本发明公开了一种无损探测像差修正装置及其方法，包括激光加工系统以及控制部，聚光透镜、加工对象、聚光透镜、透镜和光斑探测器，激光加工系统与聚光透镜为机械连接，聚光透镜、加工对象、聚光透镜、透镜和光斑探测器机械连接固定位置并平行布置，聚光透镜、透镜和光斑探测器固定在电动位移平台上，通过平台控制部控制移动；本发明的方法基于对焦点的信息被像差修正前后对应指标的关系，反馈判断像差修正效果，而非传统采用对被改质的加工对象进行摄像的方式探测，可以有效的反馈像差优化效果，加速像差修正算法的迭代效率，且并不损害被加工对象。