晶圆的检测夹持设备
摘要文本
本发明公开了一种晶圆的检测夹持设备，包括：承载基台，其上转动设有旋转主体；齿环，设于旋转主体上，齿环能够相对旋转主体转动；多个工作臂，设于旋转主体的顶部，多个工作臂在旋转主体的周向上间隔分布，且能够在旋转主体的径向上滑动；工作臂具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态；多个中间单元，设于齿环上，中间单元包括与工作臂联动的摆臂，齿环通过摆臂与工作臂联动；推压单元，设于承载基台上，且位于旋转主体的外周，推压单元包括能够在旋转主体的径向上做直线往复运动的推压块，推压块具有工作位置，当推压块位于工作位置且工作臂转动至推压单元时，推压块能够作用于摆臂以使摆臂带动工作臂朝向推压块运动。
申请人信息
- 申请人:苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号
- 发明人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆的检测夹持设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311839208.8 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117558676B |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
| 发明人 | 孙丰; 田斌 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号 |
专利主权项内容
1.一种晶圆的检测夹持设备，其特征在于，包括：承载基台(100)，其上转动设有旋转主体(200)，所述旋转主体(200)呈圆环状；齿环(300)，设于所述旋转主体(200)上，且位于所述旋转主体(200)的外周，所述齿环(300)能够相对所述旋转主体(200)转动；多个工作臂(400)，设于所述旋转主体(200)的顶部，多个所述工作臂(400)在所述旋转主体(200)的周向上间隔分布，且能够在所述旋转主体(200)的径向上滑动；所述工作臂(400)具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态；多个中间单元(500)，设于所述齿环(300)上，且与多个所述工作臂(400)一一对应设置，所述中间单元(500)包括与所述工作臂(400)联动的摆臂(510)，所述齿环(300)通过所述摆臂(510)与所述工作臂(400)联动；推压单元(600)，设于所述承载基台(100)上，且位于所述旋转主体(200)的外周，所述推压单元(600)包括能够在所述旋转主体(200)的径向上做直线往复运动的推压块(610)，所述推压块(610)具有工作位置，当所述推压块(610)位于工作位置且所述工作臂(400)转动至所述推压单元(600)时，所述推压块(610)能够作用于所述摆臂(510)以使所述摆臂(510)带动所述工作臂(400)朝向所述推压块(610)运动；其中，所述齿环(300)具有使得多个所述工作臂(400)处于夹持状态的第二转动位置，在所述齿环(300)处于第二转动位置时，所述推压块(610)响应于外部操作而运动至所述工作位置，以使转动至所述推压单元(600)处的所述工作臂(400)处于松开状态。