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一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法
摘要文本
本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法，宽谱线阵LED光源发出的光线经光纤束传导至狭缝，再通过对称式共焦线色散镜组并在共焦面上发生色散，在透明平板表面聚焦的线形光斑会反射回去，由线成像光谱仪分光，通过微处理器进行光谱‑距离映射关系解码获得共焦线上的厚度测量结果，配合二维精密平移台可实现对大面积透明平板的二维表面厚度测量。该方法突破了传统光谱共焦传感器对射测厚及单点测厚中存在的问题，具有测量装置简单、易操作、易集成于自动化生产线上和二维面厚度测量效率高等优点。。来自马-克-数-据
申请人信息
- 申请人:苏州创视智能技术有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江南路888号2201室
- 发明人: 苏州创视智能技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311664237.5 |
| 申请日 | 2023/12/6 |
| 公告号 | CN117704977A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01B11/06 |
| 权利人 | 苏州创视智能技术有限公司 |
| 发明人 | 刘钧; 吴佳君; 戴霖; 陈旺; 吕奕楷; 郑泽培 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江南路888号2201室 |
专利主权项内容
1.一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统，其特征在于：包括宽谱线阵LED光源、光纤束、狭缝、对称式共焦线色散镜组、线成像光谱仪、微处理器、探头固定支架和二维精密平移台；所述宽谱线阵LED光源发出的光经光纤束传导后，通过狭缝成为理想线光源，再经过对称式共焦线色散镜组后在共焦面上发生色散，在被测透明板表面聚焦的线形光斑会反射回对称式共焦线色散镜组，并由线成像光谱仪分光，通过微处理器对光谱-距离映射关系进行解码获得测量值，所述对称式共焦线色散镜组竖直固定于探头固定支架上，被测透明板设置于二维精密平移台上。