惯性传感器结构与惯性传感器

专利主权项内容

1.一种惯性传感器结构，其特征在于，包括：衬底；器件结构，其设置在所述衬底的一侧，所述器件结构具有与所述衬底相平行的第一平面；所述器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块、用于固定所述第一可动质量块的第一锚点以及用于固定所述第二可动质量块的第二锚点；所述第一可动质量块包括位于所述第一锚点两侧的第一质量单元和第二质量单元，所述第二可动质量块包括位于所述第二锚点两侧的第三质量单元和第四质量单元；所述第一质量单元和第二质量单元的质量不等，所述第三质量单元和所述第四质量单元的质量不等；所述第一可动质量块和所述第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称；所述器件结构还包括一对限位梁，所述第一可动质量块和所述第二可动质量块的几何中心确定第一直线，所述一对限位梁分别设置在所述第一可动质量块和所述第二可动质量块关于所述第一直线的两侧，所述限位梁沿所述第一直线延伸方向延伸，所述一对限位梁中的一者通过一对子梁分别与第一可动质量块中质量较大的质量单元以及第二可动质量块中质量较小的质量单元连接，所述一对限位梁中的另一者通过一对子梁分别与所述第一可动质量块中质量较小的质量单元以及第二可动质量块中质量较大的质量单元连接。