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一种芯片裸片加工机械手
摘要文本
本发明涉及芯片智能加工领域，尤其涉及一种芯片裸片加工机械手，包括手板，手板边缘延伸两个指板，指板与手板平面支撑裸片；第一气路，所述手板、指板内部开设第一气路，第一气路连接外部气源；卷指组件，所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件，裸片置于三个卷指组件之间，卷指组件包括柔性板，柔性板内部设置有涡卷条，涡卷条与柔性板一体收卷，用于挤压裸片的边缘，柔性板内部开设贯通第一气路的气槽，本发明通过对气槽充、放气，配合涡卷条的弹力，用于控制柔性板展开或收卷，转移裸片时，收卷的柔性板由裸片侧边挤压裸片移动，三组收卷的柔性板将裸片挤压至中心位置，实现对裸片居中定位，使裸片在各个工序之间摆放整齐。
申请人信息
- 申请人:苏州市职业大学(苏州开放大学)
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市国际教育园致能大道106号
- 发明人: 苏州市职业大学(苏州开放大学)
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种芯片裸片加工机械手 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311575026.4 |
| 申请日 | 2023/11/24 |
| 公告号 | CN117612985A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 苏州市职业大学(苏州开放大学) |
| 发明人 | 王仁忠; 刘广; 苏建 |
| 地址 | 江苏省苏州市致能大道106号国际教育园苏州市职业大学 |
专利主权项内容
1.一种芯片裸片加工机械手，其特征在于，包括：手板(1)，手板(1)边缘延伸两个指板(11)，指板(11)与手板(1)平面支撑裸片；第一气路(5)，所述手板(1)、指板(11)内部开设第一气路(5)，第一气路(5)连接外部气源；卷指组件(2)，所述手板(1)端部与指板(11)端部设置三个卷指组件(2)，裸片置于三个卷指组件(2)之间，卷指组件(2)包括柔性板(21)，柔性板(21)内部设置有涡卷条(23)，涡卷条(23)与柔性板(21)一体收卷，用于挤压裸片的边缘，柔性板(21)内部开设贯通第一气路(5)的气槽(22)，气槽(22)内通气膨胀使柔性板(21)克服涡卷条(23)的弹力展开。