检测设备
摘要文本
本发明公开了一种检测设备，用于检测晶圆，包括：工作台，其台面上设有避让口，所述避让口在上下方向上贯穿所述工作台的台面；承载治具，设于所述工作台上，且位于所述避让口的上方，所述承载治具被配置为支撑所述晶圆；相机，设于所述工作台上，且朝向所述晶圆设置，用于为所述晶圆拍摄检测图像；其中，所述相机通过第一位置调节组件设于所述工作台上，所述第一位置调节组件被配置为调节所述相机的焦距和所述相机相对所述晶圆的倾角大小。
申请人信息
- 申请人:苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号
- 发明人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 检测设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311793770.1 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117470871B |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01N21/95 |
| 权利人 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
| 发明人 | 孙丰; 蒋立 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号 |
专利主权项内容
1.一种检测设备，用于检测晶圆(900)，其特征在于，包括：工作台(100)，其台面上设有避让口(110)，所述避让口在上下方向上贯穿所述工作台(100)的台面；承载治具(200)，设于所述工作台(100)上，且位于所述避让口(110)的上方，所述承载治具(200)被配置为支撑所述晶圆(900)；相机(300)，设于所述工作台(100)上，且朝向所述晶圆(900)设置，用于为所述晶圆(900)拍摄检测图像；其中，所述相机(300)通过第一位置调节组件(400)设于所述工作台(100)上，所述第一位置调节组件(400)被配置为调节所述相机(300)的焦距和所述相机(300)相对所述晶圆(900)的倾角大小；所述第一位置调节组件(400)包括相机支撑板(410)、第一导向单元(420)、第一驱动单元(430)，所述相机支撑板(410)安装有相机(300)，所述相机支撑板(410)通过所述第一导向单元(420)滑动设于所述工作台(100)上，所述相机支撑板(410)的滑动轨迹为弧形线，所述第一驱动单元(430)被配置为驱使所述相机支撑板(410)在所述工作台(100)上沿所述滑动轨迹运动；其中，所述相机支撑板(410)上设有直线往复机构(440)，所述相机(300)通过所述直线往复机构(440)设于所述相机支撑板(410)上，所述直线往复机构(440)被配置为驱使所述相机(300)沿所述相机支撑板(410)的滑动轨迹的径向方向做直线往复运动；所述第一驱动单元(430)包括固设于所述工作台(100)上的电机(431)、与所述电机(431)的输出轴传动连接的齿轮(432)、与所述齿轮(432)啮合且固定设于所述相机支撑板(410)上的弧形齿条(433)；所述第一导向单元(420)包括固设于所述工作台(100)上的弧形导轨(421)、与所述弧形导轨(421)配合的弧形滑块(422)，所述相机支撑板(410)与所述弧形滑块(422)固定连接；所述弧形导轨(421)通过衔接板(423)设于所述工作台(100)上，所述衔接板(423)设有所述弧形导轨(421)的侧壁上设有运动限位单元，所述运动限位单元被配置为限定所述弧形滑块(422)的运动位置。