基于多参数协同控制的硅棒含氧量调控方法及系统

专利主权项内容

1.一种基于多参数协同控制的硅棒含氧量调控方法，其特征在于，所述方法包括：获取硅棒生产要求，并对硅棒生产要求进行含氧量数据识别、提取，获得硅棒含氧量规定值；根据预先设定的数据采集时间频率对单晶炉内硅棒拉制环境数据进行持续采集，并将每次采集的环境数据与采集时间戳相关联，获得炉内拉制环境数据集合；所述炉内拉制环境数据集合包括结晶温度、拉制速度、气氛流速以及炉内气压；按照采集时间戳的先后顺序，将设定数量的炉内拉制环境数据集合进行数据排序、对齐，获得炉内拉制环境特征矩阵；将炉内拉制环境特征矩阵输入至预先构建的硅棒含氧量评测模型中，获得硅棒含氧量评测值；根据硅棒含氧量评测值与硅棒含氧量规定值，计算得到硅棒含氧量偏差值；将硅棒含氧量偏差值与预设含氧量误差范围进行比对：若硅棒含氧量偏差值位于预设含氧量误差范围内，则无动作；若硅棒含氧量偏差值超出预设含氧量误差范围，则将硅棒含氧量偏差值输入至单晶炉控制参数生成模型中，获得单晶炉调控参数，并根据单晶炉调控参数进行参数调节，驱使硅棒含氧量偏差值位于预设含氧量误差范围内。