一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法
摘要文本
本发明公开了一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法，本发明是针对视觉分析的基本原理进行优化，具体表现为：以工业相机的广域视角可以同时采集多块芯片上的图片信息，其目的是通过“增加”采集数量而缩短检测周期，而对采集过程进行进一步优化：以晶圆本体上相对于工业相机中广域视角的中心点位置，带动晶圆本体进行360°全视角小角度旋转，其目的是：避免工业相机的采集过程中受到光线折射影响而造成成像模糊，直接影响到后续的检测数据，具体表现为：单块芯片上的图片信息可以进行多角度旋转，从而单块芯片上的图片信息中包括多个角度上的成像信息，用来“剔除”其中成像模糊的图片信息而保留清晰的图片信息。
申请人信息
- 申请人:苏州梅曼智能科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇紫泾街36号9#7层701
- 发明人: 苏州梅曼智能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311571336.9 |
| 申请日 | 2023/11/23 |
| 公告号 | CN117491383A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | G01N21/95 |
| 权利人 | 苏州梅曼智能科技有限公司 |
| 发明人 | 周春荣; 丁际友; 许德智 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区木渎镇紫泾街36号9#7层701 |
专利主权项内容
1.一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构，包括工作台(1)和工业相机(3)，其特征在于，所述工业相机(3)安装在工作台(1)正上方位置上，所述工作台(1)上表面位置上设置有运动组件(4)，所述运动组件(4)上设置有晶圆本体，所述工作台(1)正下方位置上安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴顶端位置上安装有旋转台(5)，所述旋转台(5)正上方位置上设置有下动台(9)；所述下动台(9)上表面中心点位置上安装有呈竖向设置的球形接头(8)，所述球形接头(8)与工作台(1)之间为活动连接，且球形接头(8)的顶端延伸至运动组件(4)下表面中心点位置上，所述旋转台(5)内部安装有第二伸缩节杆(11)和电动推杆(12)，所述电动推杆(12)和第二伸缩节杆(11)的设置数量分别为一个和三个，且电动推杆(12)和第二伸缩节杆(11)沿旋转台(5)中心点位置为环形阵列设置，所述电动推杆(12)和第二伸缩节杆(11)的输出端位置上均安装有球形节杆(13)，所述下动台(9)下表面位置上开设有对应球形节杆(13)的补偿环槽(10)，所述工作台(1)一侧位置上安装有控制台(2)。 数据由马 克 团 队整理