微机电三轴陀螺仪与电子设备

专利主权项内容

1.一种微机电三轴陀螺仪，所述微机电三轴陀螺仪具有相交且垂直的第一轴向、第二轴向和第三轴向，其特征在于，包括：衬底；驱动组件，其设置在所述衬底的一侧，所述驱动组件包括间隔设置且振动方向相反的第一驱动框架和第二驱动框架；第一检测组件和第二检测组件，所述第一检测组件和所述第二检测组件位于所述第一驱动框架和所述第二驱动框架之间并相互独立设置，所述第一检测组件与所述第一驱动框架和所述第二驱动框架连接，所述第二检测组件与所述第一驱动框架和所述第二驱动框架连接；第三检测组件，所述第三检测组件包括第一检测部和第二检测部，所述第一检测部和所述第二检测部对称地设置在所述驱动组件的外周；所述第一检测部通过第一弹性梁与所述第一驱动框架连接，所述第二检测部通过第二弹性梁与所述第二驱动框架连接；连接组件，所述连接组件分别与所述第一检测部和所述第二检测部连接，使所述第一检测部和所述第二检测部同频振动；所述连接组件包括连接梁和第四弹性梁；所述连接梁的两端分别通过所述第四弹性梁与所述第一检测部和所述第二检测部连接；所述连接梁包括一对关于第二轴向对称的子梁，以及连接一对所述子梁的连接弹簧；其中，所述第一弹性梁、所述第二弹性梁和所述第四弹性梁的弹性方向沿所述第一轴向延伸；在所述第一轴向上，所述第四弹性梁的刚度大于所述第一弹性梁和所述第二弹性梁的刚度。 该数据由<马克数据网>整理