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氧化钇喷嘴的制作工艺、干压成型模具、干压成型设备
摘要文本
本发明公开了一种氧化钇喷嘴的制作工艺，包括以下步骤：S101：利用喷雾造粒制作氧化钇粉末，所述氧化钇粉末平均粒径为20‑100μm；S102：将所述氧化钇粉末加入模具中干压成型形成生坯，干压压强为30‑80MPa；S103：将所述生坯进行脱脂及预烧结，得到烧结体；脱脂与预烧结在大气环境中进行，其中，所述脱脂温度为200‑800℃，保温时间为1‑8h，预烧结温度为1100‑1300℃，保温时间为2‑3h；S104：对所述烧结体进行粗加工，保留烧结体最终烧结后的加工余量；S105：对粗加工后的烧结体进行最终烧结；最终烧结温度为1500‑1750℃，保温时间为1‑8h；S106：对所述喷嘴进行精加工；本发明可解决生坯阶段的氧化钇喷嘴进行加工时，由于生坯强度低，容易造成生坯出现裂纹、缺损，继而影响制作的芯片的良率问题。 更多数据：搜索专利查询网来源：
申请人信息
- 申请人:苏州众芯联电子材料有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇迎宾西路988号6幢101-102-201-202室
- 发明人: 苏州众芯联电子材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 氧化钇喷嘴的制作工艺、干压成型模具、干压成型设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311739283.7 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN117720349A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | C04B35/505 |
| 权利人 | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 发明人 | 张立祥; 赵凯; 陈赟; 王洋 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区甪直镇迎宾西路988号6幢101-102-201-202室 |
专利主权项内容
来源：百度马 克 数据网 1.一种氧化钇喷嘴的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：S101：利用喷雾造粒制作氧化钇粉末，所述氧化钇粉末平均粒径为20-100μm；S102：将所述氧化钇粉末加入模具中干压成型形成生坯，干压压强为30-80MPa；S103：将所述生坯进行脱脂及预烧结，得到烧结体；脱脂与预烧结在大气环境中进行，其中，所述脱脂温度为200-800℃，保温时间为1-8h，预烧结温度为1100-1300℃，保温时间为2-3h；S104：对所述烧结体进行粗加工，保留烧结体最终烧结后的加工余量；S105：对粗加工后的烧结体进行最终烧结；最终烧结温度为1500-1750℃，保温时间为1-8h；S106：对所述喷嘴进行精加工。