金属基传感器静态性能测试装置及系统

专利主权项内容

1.一种金属基传感器静态性能测试装置，用于金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器的静态性能测试，其特征在于，该金属基传感器静态性能测试装置包括：第一套筒，所述第一套筒包括第一端面，所述第一端面上设置有容置孔，所述容置孔用于容纳所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器，所述容置孔的孔径与所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器的轮廓外径一致，所述容置孔的孔底设置有贯通所述第一套筒的第一筒孔，所述第一筒孔的孔径与所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器的封装外径一致；第二套筒，所述第二套筒包括第二端面，所述第二端面与所述第一端面抵接、形成所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器的限位；所述第二端面上开设有贯通所述第二套筒的第二筒孔，所述第二筒孔的孔径与所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器的封装外径一致，所述第二筒孔与所述第一筒孔同轴设置；压头，所述压头能够移动的设置在所述第二筒孔内，所述压头用于为所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器施加压力；第一传递介质，所述第一传递介质设置在所述第二筒孔内，所述第一传递介质用于传递所述压头的压力至所述金属基底MEMS膜流体电阻式压力传感器，并形成所述第二筒孔的密封。