一种半导体镀膜设备的磁铁组件调节治具

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本发明公开了一种半导体镀膜设备的磁铁组件调节治具，包括配重组件调节模块、蜗轮模块和磁铁位置调节模块；半导体镀膜设备包括上盖板和下盖板，磁铁位于下盖板上，所述配重组件调节模块包括配重块、第一滑杆和第一蜗杆，所述配重块通过第一蜗杆在第一滑杆上滑动；磁铁位置调节模块包括连接块和第二蜗杆，所述连接块与第二蜗杆螺纹配合；所述蜗轮模块带动第一蜗杆、第二蜗杆转动从而分别调节配重块和下盖板的位置；所述连接块位于上盖板上并穿过下盖板与第二蜗杆连接，所述第一蜗杆、第二蜗杆分别设置有一第一支撑架，本发明的磁铁组件调节治具，可以实现方便的对配重组件调节和磁铁位置调节，从而适应不同的工艺磁场，调节方便快捷。