一种化学气相淀积薄膜制备装置
摘要文本
本发明公开了一种化学气相淀积薄膜制备装置，其特征在于，包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管、进气组件和抽气组件；所述石英管穿设在所述第一通孔内；所述进气组件和抽气组件分别和所述石英管的两端相连接。本发明所公开的化学气相淀积薄膜制备装置，体积小，结构简单且制造成本低，便于小规模的生产，同时也能降低企业的成本。
申请人信息
- 申请人:琥崧智能装备(太仓)有限公司
- 申请人地址:215411 江苏省苏州市太仓市陈门泾路101号工业园区6号厂房
- 发明人: 琥崧智能装备(太仓)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种化学气相淀积薄膜制备装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311839320.1 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117488281B |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | C23C16/46 |
| 权利人 | 琥崧智能装备(太仓)有限公司 |
| 发明人 | 蒋明川; 李源林 |
| 地址 | 江苏省苏州市太仓市陈门泾路101号工业园区6号厂房 |
专利主权项内容
1.一种化学气相淀积薄膜制备装置，其特征在于，包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管(10)、进气组件(3)和抽气组件(6)；所述石英管(10)穿设在所述第一通孔内；所述进气组件(3)和抽气组件(6)分别和所述石英管(10)的两端相连接；所述加热组件包括第一板体(5)和第二板体(1)；所述第二板体(1)设置在所述第一板体(5)的顶部；所述第一板体(5)的顶部表面开设有贯穿其长度方向的第一凹槽(503)；所述第二板体(1)底部表面开设有贯穿其长度方向的第二凹槽(104)；所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)结构相同；所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)的横截面均为半圆形；所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)围合成所述第一通孔；所述加热组件还包括加热线圈(11)；所述第一板体(5)的顶部还开设有第三凹槽(502)；所述第二板体(1)的底部还开设有第四凹槽(103)；所述加热线圈(11)套接在所述石英管(10)上；所述加热线圈(11)设置在所述第三凹槽(502)和第四凹槽(103)围合的空腔内；所述第四凹槽(103)的底部还设有第二通孔(101)；所述加热线圈(11)的末端穿出所述第二通孔(101)；所述加热组件还包括保温仓(9)；所述保温仓(9)包括上仓体(904)和下仓体(902)；所述下仓体(902)装配在所述第三凹槽(502)内；所述上仓体(904)装配在所述第四凹槽(103)内；所述上仓体(904)和下仓体(902)的两侧壁均开设有同轴设置的第五凹槽(901)；所述石英管(10)贯穿所述保温仓(9)；所述加热线圈(11)设置在所述保温仓(9)内。