用于调节水导激光加工设备水射流垂直度的校准系统与校准方法

专利主权项内容

1.一种用于调节水导激光加工设备水射流垂直度的校准系统，其特征在于，包括：激光发生器，被设置用于发出脉冲激光束；分光镜，被配置成以45°角的方式安装在激光发生器的光路上，实现对脉冲激光束的半反射与透射，形成反射光束与透射光束；光水耦合加工头，设置位于所述反射光束的光路方向，用于将反射光束耦合到由喷嘴射出的水束中，形成光水耦合束；多向调节平衡机构，被设置安装到设备机架上，并通过多个方向设置的调节部与所述光水耦合加工头连接；光学传感器，被设置位于设备的加工平台表面，用于感应光水耦合加工头内耦合的反射光束在光学传感器的聚焦点；控制系统，被设置成用于控制光水耦合加工头运动到预设的第一位置以及从第一位置抬升预定高度后的第二位置，并且：基于光学传感器所获得的第一位置、第二位置对应的聚焦点以及基于聚焦点之间的偏差，控制调整所述多向调节平衡机构，驱动调节部的运动来平衡光水耦合加工头，使光水耦合加工头投射到光学传感器的聚焦点重合。