减薄控制方法、系统、减薄设备
摘要文本
本发明揭示了减薄控制方法、系统、减薄设备，其中减薄控制方法采用动态控制主轴进给速度的方式，改了现有减薄工艺采用分阶段减薄且使每个阶段以固定进给速度减薄的惯用方式，相对于现有技术，不需要确定每个阶段的进给速度，而是实时调整主轴的进给速度，有效降低了设备调试、测试的难度；在实时控制主轴的进给速度时，有效考虑了能够反映磨削力的主轴的工作电流和与磨削力紧密相关的驱动电机的电机力矩，避免基于单一参数控制易受其他因素影响的问题，能够有效地提高进给控制的精度，最大程度地保证磨削力的稳定，并且能够最大程度地保持高的进给速度从而提高减薄效率。
申请人信息
- 申请人:江苏京创先进电子科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢
- 发明人: 江苏京创先进电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 减薄控制方法、系统、减薄设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311745450.9 |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN117415730B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | B24B51/00 |
| 权利人 | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
| 发明人 | 王长龙; 葛凡; 孙志超; 高阳 |
| 地址 | 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢 |
专利主权项内容
1.减薄控制方法，其特征在于，在磨轮与晶圆接触后至完成减薄期间，根据如下步骤控制主轴的进给：S1, 在确定磨轮与晶圆接触后，使所述主轴的进给速度降低到第一速度后，再加速进给；S2, 在所述主轴加速进给的过程中，实时检测主轴工作时主轴电机的工作电流和驱动主轴进给的驱动电机的电机力矩，并确定所述工作电流是否大于等于第一阈值以及所述电机力矩是否大于等于第二阈值；S3, 在确定所述工作电流大于等于第一阈值且所述电机力矩大于等于第二阈值时, 使所述驱动电机控制主轴保持当前速度进给或减速进给; S4, 在所述主轴保持当前速度进给或减速进给的过程中，实时检测所述工作电流和电机力矩，并确定所述工作电流及所述电机力矩的变化情况；S5, 在确定所述工作电流小于第一阈值和/或所述电机力矩小于第二阈值时，使所述主轴加速进给，并执行S2；在确定所述工作电流大于等于第一阈值且所述电机力矩大于等于第二阈值时，使所述主轴继续保持匀速或减速进给并执行S4；在减薄过程中，实时确定与主轴连接的平衡气缸的状态是否正常，若确定所述平衡气缸的状态正常，则正常进行减薄；若确定所述平衡气缸的状态异常，则停止减薄；在所述驱动电机开始驱动主轴向下进给过程中，实时检测所述工作电流和/或电机力矩，并确定所述工作电流和/或电机力矩是否突然增大，若是，则确定磨轮与晶圆接触；所述第一速度在0.1微米/秒～0.3微米/秒之间；所述主轴加速进给时的加速度在0.01～0.05μm/s，所述主轴减速进给时的加速度在-0.01～-0.05μm/s。22