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一种对中与寻边装置、方法及存储介质
摘要文本
本发明公开了一种对中与寻边装置、方法及存储介质。该对中与寻边装置包括：控制模块，以及设置于机架上的夹持模块、尺寸确定模块、对中模块和寻边模块，尺寸确定模块、对中模块和寻边模块均与控制模块电连接；夹持模块用于承载晶圆，尺寸确定模块用于采集晶圆的尺寸信号，并发送至控制模块；对中模块用于生成位置对中信号，并发送至控制模块；寻边模块用于检测晶圆的边缘上的豁口位置，生成边缘检测信号并发送至控制模块；控制模块用于根据尺寸信号确定晶圆的尺寸，并且根据对中信号和边缘检测信号，控制对中模块和寻边模块对晶圆进行对中与寻边。本发明实施例的技术方案可有效减少对人工的需求，并且装置结构简单，可有效降低设备造价。
申请人信息
- 申请人:江苏京创先进电子科技有限公司
- 申请人地址:215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
- 发明人: 江苏京创先进电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种对中与寻边装置、方法及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311575701.3 |
| 申请日 | 2023/11/23 |
| 公告号 | CN117524961A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
| 发明人 | 欧阳震; 蔡国庆; 金道成; 赵锋; 孙志超; 高阳 |
| 地址 | 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢 |
专利主权项内容
1.一种对中与寻边装置，其特征在于，包括：控制模块，以及设置于机架上的夹持模块、尺寸确定模块、对中模块和寻边模块，所述尺寸确定模块、所述对中模块和所述寻边模块均与所述控制模块电连接；所述夹持模块用于承载晶圆，所述尺寸确定模块用于采集所述晶圆的尺寸信号，并发送至所述控制模块；所述对中模块用于生成位置对中信号，并发送至所述控制模块；所述寻边模块用于检测所述晶圆的边缘上的豁口位置，生成边缘检测信号并发送至所述控制模块；所述控制模块用于根据所述尺寸信号确定所述晶圆的尺寸，并且根据所述对中信号和所述边缘检测信号，控制所述对中模块和所述寻边模块对所述晶圆进行对中与寻边。 （来源 马克数据网）