一种适用于大尺寸硅片的高悬浮研磨液、制备方法及用途

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本发明涉及一种适用于大尺寸硅片的高悬浮研磨液，按照重量份计算，包括催化剂助剂5‑10份；催化剂前驱体10‑20份；氧化剂5‑15份；分散剂5‑20份；pH调节剂5‑20份；表面活性剂0.2‑5份；去离子水15‑45份。本发明还公开了上述研磨液的制备方法及用途。本发明的催化剂助剂同时含有吡啶基团与羧基基团，其具有加快凝胶的过程，减少反应的活化能，提高悬浮性的作用。氧化剂蒽醌‑2‑磺酸钠具有光激发氧化作用，可显著提高光催化效率，亚甲基二萘磺酸钠分散剂可提高分散、悬浮性。十八醇聚氧乙烯醚作为表面活性剂可以与催化剂助剂、分散剂等产生静电排斥效果，增强其对磨料的悬浮性。本发明通过多组分协同共同提高研磨液的悬浮性。