← 返回列表
一种数字扬声器及其制造方法
摘要文本
本发明公开一种数字扬声器及其制造方法，涉及微电子制造技术领域，以解决MEMS扬声器加工时，需要在逐个加工形成驱动板或振膜，较为耗时，加工制造效率低的问题。所述数字扬声器的制造方法包括在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板；在第一电极板上形成一个或多个驱动板；在第一电极板上沉积第一介质层；在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板；在第二电极板上形成多个振膜；在第二电极板的相邻振膜内填充第二介质层；在第一介质层上形成多个振动间隙。所述数字扬声器通过上述技术方案所提的数字扬声器的制造方法成形。本发明提供的数字扬声器及其制造方法用于提高数字扬声器的加工制造效率。 来源：百度马 克 数据网
申请人信息
- 申请人:地球山(苏州)微电子科技有限公司
- 申请人地址:215513 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201
- 发明人: 地球山(苏州)微电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种数字扬声器及其制造方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311428132.X |
| 申请日 | 2023/10/31 |
| 公告号 | CN117177166B |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H04R31/00 |
| 权利人 | 地球山(苏州)微电子科技有限公司 |
| 发明人 | 刘长华; 袁飞洋 |
| 地址 | 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201 |
专利主权项内容
1.一种数字扬声器的制造方法，其特征在于，包括步骤：在基底上形成多个空气后腔；在所述基底具有所述空气后腔的一侧固定设置第一电极板；在所述第一电极板上形成一个或多个驱动板；在每个所述驱动板上开设至少一个穿孔，且每个空气后腔至少与一个所述穿孔连通；在所述第一电极板上沉积第一介质层；在所述第一介质层远离所述第一电极板的一侧固定设置第二电极板；在所述第二电极板上形成多个振膜；在所述第二电极板的相邻所述振膜内填充第二介质层；在所述第一介质层上形成多个振动间隙，每个所述振动间隙位于对应的所述振膜和所述驱动板之间，与所述振动间隙对应的所述驱动板、所述振膜、所述振动间隙、所述空气后腔共同形成一个像素发声单元。。关注公众号马克数据网