显微成像测量系统及其光路调整方法、光学设备和介质

专利主权项内容

1.显微成像测量系统的光路调整方法，其特征在于，所述显微成像测量系统包括：一物镜，能够接收来自一待测样品的信号光，所述物镜具有一物镜后焦平面，所述待测样品具有一样品面；一第一透镜组，能够将所述物镜后焦平面成像于一第一动量空间成像面，并且与所述物镜配合将所述样品面成像于一第一实空间成像面；一第二透镜组，能够将一第一成像面成像于一第二成像面，所述第一成像面为所述第一实空间成像面或所述第一动量空间成像面，所述第二透镜组包括沿光的传输方向设置的一第一凸透镜和一第二凸透镜；一第一可移动平台，用于安装所述第二凸透镜，并能够移动所述第二凸透镜以改变所述第二成像面中像的位置；和一收集装置，能够收集所述第二成像面的像的信息；所述光路调整方法包括如下步骤：步骤P1：通过所述收集装置获取所述第二成像面中所述待测样品的像；步骤P2：获取所述第二成像面中一待测量区域的像的第一起始坐标(x0, y0)和第一目标坐标(x1, y1)，其中x0为所述第一起始坐标在一第一方向的分量，y0为所述第一起始坐标在一第二方向的分量，x1为所述第一目标坐标在所述第一方向的分量，y1为所述第一目标坐标在所述第二方向的分量，所述第一方向与所述第二方向交叉；步骤P3：控制所述第一可移动平台沿所述第一方向移动Δx1、沿所述第二方向移动Δy1，其中Δx1=(x1-x0)*f2/L，Δy1=(y1-y0)*f2/L；f2为所述第二凸透镜的焦距，L为所述第二成像面与所述第二凸透镜之间的距离。