一种含氨基酸的半导体芯片清洗液、其制备方法及用途

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本发明涉及一种含氨基酸的半导体芯片清洗液，按照重量份计算，包括如下组分：无机碱1‑15份；亚砜30‑50份；含巯基脯氨酸10‑20份；氨基酸及其衍生物5‑15份；醇胺10‑20份；超纯水30‑60份。本发明还公开了上述清洗液的制备方法及用途。本发明含巯基脯氨酸拥有独特的扭角结构，可互相交联约束形成交联约束肽，此结构在水溶液中高度稳定，约束肽可以将碱性分子进行包裹，随着时间增长慢慢释放延长清洗液寿命。约束肽的巯基还与铜络合形成钝化膜铜层保护，且钝化膜可直接被水清洗。醇胺的氨基酸基团也可与含巯基脯氨酸形成约束肽，促进清洗液寿命的延长。