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一种电子级氢氟酸生产装置及其生产工艺

申请号: CN202311737151.0
申请人: 联仕新材料(苏州)股份有限公司
申请日期: 2023/12/18

摘要文本

本发明涉及氢氟酸生产领域,公开了一种电子级氢氟酸生产装置及其生产工艺,生产装置包括低温蒸发机构,低温蒸发机构和吸附机构连接,吸附机构连接纯化塔,纯化塔连接冷凝调配机构;吸附机构包括管体,管体立状布置,管体上下端封闭,管体下部侧壁安装有进气组件,管体上端具有出气接头,管体内具有排料组件,管体内壁和上排料组件之间的间隔为环形腔,排料组件用于将树脂从环形腔下部排向上端,管体和弹性维持组件连接,弹性维持组件用于维持管体处于立状,管体和摇动机构连接,摇动机构用于摇动管体;本发明提出的生产装置和生产工艺,能够实现对氢氟酸气体进行树脂吸附处理,能够有效吸附消除其内的有机挥发物,能够充分利用吸附树脂。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种电子级氢氟酸生产装置及其生产工艺
专利类型 发明申请
申请号 CN202311737151.0
申请日 2023/12/18
公告号 CN117430090A
公开日 2024/1/23
IPC主分类号 C01B7/19
权利人 联仕新材料(苏州)股份有限公司
发明人 张晨良; 江建忠
地址 江苏省苏州市昆山市千灯镇汶浦中路66号

专利主权项内容

1.一种电子级氢氟酸生产装置,包括用于制备氢氟酸气体的低温蒸发机构,低温蒸发机构和吸附机构连接,吸附机构连接纯化塔,纯化塔连接冷凝调配机构,其特征在于,吸附机构包括管体(100),管体(100)立状布置,管体(100)上下端封闭,管体(100)下部侧壁安装有进气组件(130),管体(100)上端具有出气接头(111),管体(100)内具有排料组件(160),管体(100)内壁和上排料组件(160)之间的间隔为环形腔,排料组件(160)用于将树脂从环形腔下部排向上端,管体(100)和弹性维持组件(140)连接,弹性维持组件(140)用于维持管体(100)处于立状,管体(100)和摇动机构(200)连接,摇动机构(200)用于摇动管体(100)。