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一种离子束抛光机的可调支撑结构及离子束抛光机
摘要文本
本发明提供了一种离子束抛光机的可调支撑结构，其设置于真空罐内，所述离子束抛光机的可调支撑结构包括真空罐底板、运动轴系底板及第一可调支撑机构；所述运动轴系底板通过所述第一可调支撑机构支撑于所述真空罐底板的上方；所述第一可调支撑机构设置有多个，各所述第一可调支撑机构分别与所述运动轴系底板连接，且沿水平方向，各所述第一可调支撑机构相互间隔；所述第一可调支撑机构用以调节与所述运动轴系底板连接处的高度，以调平所述运动轴系底板。同时，还提供了一种离子束抛光机。与现有技术相比，本发明提供的离子束抛光机的可调支撑结构及离子束抛光机，能更好的确保运动轴系的精度，提高加工精度和设备的使用寿命。
申请人信息
- 申请人:朗信(苏州)精密光学有限公司
- 申请人地址:215345 江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双和路108号2号房
- 发明人: 朗信(苏州)精密光学有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种离子束抛光机的可调支撑结构及离子束抛光机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311792260.2 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117484387A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | B24B41/00 |
| 权利人 | 朗信(苏州)精密光学有限公司 |
| 发明人 | 李文坚 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双和路108号2号房 |
专利主权项内容
1.一种离子束抛光机的可调支撑结构，其特征在于，设置于真空罐内，所述离子束抛光机的可调支撑结构包括真空罐底板、运动轴系底板及第一可调支撑机构；所述运动轴系底板通过所述第一可调支撑机构支撑于所述真空罐底板的上方；所述第一可调支撑机构设置有多个，各所述第一可调支撑机构分别与所述运动轴系底板连接，且沿水平方向，各所述第一可调支撑机构相互间隔；所述第一可调支撑机构用以调节与所述运动轴系底板连接处的高度，以调平所述运动轴系底板；还包括承载框架、第二可调支撑机构；所述承载框架通过所述第二可调支撑机构与所述真空罐底板连接；所述第二可调支撑机构设置有多个，各所述第二可调支撑机构分别与所述承载框架连接，且沿水平方向，各所述第二可调支撑机构相互间隔；所述第二可调支撑机构用以调节与所述承载框架连接处的高度，以调平所述运动轴系底板；所述运动轴系底板通过所述第一可调支撑机构与所述承载框架连接。 详见官网：