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多相机视觉识别和定位方法
摘要文本
本发明涉及芯片封装技术领域，具体提供一种多相机视觉识别和定位方法，包括以下步骤：设置转塔定位相机，对转塔机构上的所有吸嘴的位置偏差进行测量并记录；设置顶针识别相机，对顶针的坐标进行标定，便于转塔机构上的吸嘴拾取顶针上放的芯片；设置芯片识别相机，检测转塔机构的吸嘴上否存在芯片，并计算芯片中心点的偏差量；设置龙门校正相机，计算龙门机构上芯片中心点的偏移量；设置贴合相机，获取贴合位置信息，进行芯片装贴。本发明为在各个关键芯片转移环节设置了对应的识别相机，监测和记录芯片的位置，从而进行实时反馈和控制，提高了芯片转移和装贴的成功率和稳定性。 百度搜索专利查询网
申请人信息
- 申请人:中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房
- 发明人: 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 多相机视觉识别和定位方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311862472.3 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117745806A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | G06T7/70 |
| 权利人 | 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 周亚棚; 孙斌; 张德龙; 戴义伍; 陈伟扬 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房 |
专利主权项内容
马 克 数 据 网 1.一种多相机视觉识别和定位方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在龙门机构从转塔机构上拾取芯片的位置设置转塔定位相机，对转塔机构上的所有转塔吸嘴的位置坐标进行测量，并将每个转塔吸嘴的位置坐标发送至龙门机构；S2：在芯片拾取工位设置顶针识别相机，对顶针的坐标进行标定，便于转塔机构上的转塔吸嘴拾取顶针上放的芯片；S3：在检测工位设置有芯片识别相机，转塔吸嘴拾取芯片后转动至检测工位，通过所述芯片识别相机判断转塔吸嘴上是否存在芯片，并计算芯片中心点与转塔吸嘴中心点的偏差量ΔX，将偏差量ΔX反馈至龙门机构进行位置补偿；11S4：在龙门机构的运动路径上设置龙门校正相机，龙门机构通过取料机构从转塔吸嘴上拾取芯片，计算芯片中心点与取料机构中心点的偏差量ΔX，将偏差量ΔX反馈至龙门机构进行位置补偿；22S5：在龙门机构上设置贴合相机，通过所述贴合相机识别重组晶圆盘上的贴合位置中心点，将芯片中心点与贴合位置中心点重合进行芯片装贴。