一种硅片晶圆边缘抛光装置及方法

专利主权项内容

1.一种硅片晶圆边缘抛光装置，其特征在于：包括：防护框架(1)，其中部水平固定装配有支撑板(2)，所述支撑板(2)前侧面两端分别固定装配有输入输送带(3)以及输出输送带(4)，所述输入输送带(3)以及输出输送带(4)镜像设置，且其内侧均放置有一组晶圆移动机构(5)，两组所述晶圆移动机构(5)镜像设置，且螺栓固定在支撑板(2)上表面；驱动电机(6)，固定装配在所述支撑板(2)上表面中心处，其输出轴上同轴固定装配有转动板(7)，所述转动板(7)上嵌装有六组晶圆定位固定组件(8)，且所述转动板(7)上表面固定装配有边缘抛光组件(9)，所述边缘抛光组件(9)另一端固定装配在支撑板(2)上；所述晶圆定位固定组件(8)包括：固定框架(81)，固定装配在所述转动板(7)下表面，其内部嵌装有驱动机构(82)，所述驱动机构(82)的输出轴上同轴固定装配有转动架(83)，所述转动架(83)上端同轴转动装配有定位夹持组件(84)，所述定位夹持组件(84)固定装配在固定框架(81)上，且其上方固定装配有抛光台(85)，所述抛光台(85)上设置有多组吸力孔，所述吸力孔下端连接有真空发生器(86)，所述真空发生器(86)固定装配在抛光台(85)下表面；所述晶圆移动机构(5)前端设置有吸盘组件(13)，所述吸盘组件(13)连接有真空泵(14)，所述真空泵(14)固定装配在晶圆移动机构(5)上端；所述定位夹持组件(84)包括：固定底座(841)，固定装配在所述固定框架(81)上，其上开设有四组滑动槽，该滑动槽内滑动装配有滑动夹持块(844)，所述固定底座(841)中部转动装配有转动环(842)，所述转动环(842)与每组滑动夹持块(844)之间转动装配有传动连杆(843)；所述转动环(842)内侧螺纹装配有驱动指示组件(845)；所述滑动夹持块(844)上端设置有两组夹持块(846)，两组所述夹持块(846)镜像设置，其与滑动夹持块(844)之间设置有夹紧弹簧，且其另一侧滚动嵌装有多组滚珠(847)；所述驱动指示组件(845)包括：螺纹套筒(8451)，螺纹装配在所述转动环(842)内侧，其内侧同轴转动装配有双向液压缸(8452)，所述双向液压缸(8452)下端固定装配在转动架(83)上，其上端固定装配有固定块(8454)，且所述螺纹套筒(8451)两端均同轴固定设置有压缩弹簧(8453)；所述边缘抛光组件(9)包括：支撑柱(91)，设置有长短两组，分别固定装配在支撑板(2)或转动板(7)上，其上端均固定装配有水平导轨(92)，所述水平导轨(92)上滑动装配有水平滑块(93)，所述水平滑块(93)上固定装配有竖直导轨(94)，其上固定装配有垂直面抛光盘(95)，所述垂直面抛光盘(95)上转动装配有两组调节液压缸(97)，两组所述调节液压缸(97)另一端转动装配有斜面抛光盘(96)；两端的垂直面抛光盘(95)、斜面抛光盘(96)以及调节液压缸(97)中心对称，水平导轨(92)、水平滑块(93)以及竖直导轨(94)镜像对称，且所述水平滑块(93)上设置有抛光液管(98)。 来自马-克-数-据-官网