用于传送晶圆的机械臂联动结构及其控制方法

专利主权项内容

1.用于传送晶圆的机械臂联动结构，包括控制底座(1)，控制底座(1)的顶部设有第一机械手(2)和第二机械手(3)，其特征在于：所述控制底座(1)的内部设有若干控制液压缸组(11)，若干控制液压缸组(11)的输出均设有两个控制油缸(12)，若干组控制液压缸组(11)的内侧均设有减速机构(15)，第一机械手(2)和第二机械手(3)的底端位置设有联动机构(4)，第一机械手(2)和第二机械手(3)上均设有若干组驱动机构(5)，第一机械手(2)和第二机械手(3)靠近晶圆的一端均设有负压机构(6)；所述第一机械手(2)包括第一大臂(21)，第一大臂(21)的顶部转动连接有第一小臂(22)，第一小臂(22)远离第一大臂(21)的一端转动连接有第一托盘臂(23)，第一托盘臂(23)远离第一小臂(22)的一端活动连接有第一晶圆托盘(24)；所述第二机械手(3)包括第二大臂(31)，第二大臂(31)的顶部转动连接有第二小臂(32)，第二小臂(32)远离第二大臂(31)的二端转动连接有第二托盘臂(33)，第二托盘臂(33)远离第二小臂(32)的一端活动连接有第二晶圆托盘(34)；所述联动机构(4)包括外圈(41)，外圈(41)的内壁固定连接有至少三个液压推杆(42)，且至少三个液压推杆(42)的输出端固定连接有传动齿轮(43)，第一大臂(21)的底端侧面固定连接有第一齿圈(211)，第二大臂(31)的底端侧面固定连接有齿圈液压缸(311)，齿圈液压缸(311)的输出端固定连接有第二齿圈(312)，传动齿轮(43)与第一齿圈(211)、第二齿圈(312)相匹配；若干组所述驱动机构(5)分别设在第一大臂(21)、第一小臂(22)、第二大臂(31)和第二小臂(32)的内侧，驱动机构(5)包括驱动液压缸(51)，驱动液压缸(51)的输出端连接有橡胶齿带(52)，橡胶齿带(52)的内侧啮合有驱动轴(53)，控制油缸(12)通过油管与驱动液压缸(51)连通；两个所述负压机构(6)包括负压套(61)和与负压套(61)相匹配的活塞柱(62)，两个活塞柱(62)的底面分别与第一晶圆托盘(24)和第二晶圆托盘(34)的顶面固定连接，第一晶圆托盘(24)和第二晶圆托盘(34)的内侧均开设有输送槽(63)，两个活塞柱(62)通过两个输送槽(63)分别连接有负压孔(64)，第一晶圆托盘(24)和第二晶圆托盘(34)的底面均设有气囊(65)。