一种基于伯努利卡盘的晶圆保持装置

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本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种基于伯努利卡盘的晶圆保持装置，包括：卡盘，其顶面形成有环形吸附区域；转动组件，设置在卡盘的下方，转动组件上设有用于为卡盘提供气流以形成环形吸附区域的进气通道，转动组件上设有出气通道；卡盘的中部设有与出气通道连通的通孔；检测模块，用于获取通孔内气体的第一流量以及出气通道远离通孔一端内气体的第二流量，并判断卡盘以预设间隙距离在预设气体流量下对晶圆夹持时，转动组件是否发生泄漏。环形吸附区域各处负压均衡，为晶圆提供稳定吸附力；检测模块能够监测气体流量的情况，并对供气流量进行适应性调节，保证对晶圆的稳定夹持和蚀刻的均匀性，防止溶液对晶圆边缘污染，提升刻蚀质量。