测量装置及抛光系统
摘要文本
本发明属于研磨抛光技术领域，公开了测量装置及抛光系统。该装置具体包括驱动件、吸水部、刷膜部和激光测量组件。吸水部和刷膜部均通过连接件与驱动件连接；吸水部具有置于上抛光垫的孔洞的第一状态，刷膜部具有置于孔洞的第二状态；当连接件带动吸水部位于第一状态，刷膜部位于孔洞的外部，吸水部用于吸收工件与孔洞相对部位加工水；当连接件带动刷膜部位于第二状态，吸水部位于孔洞外部，刷膜部用于向工件与孔洞相对部位覆盖水膜，连接件能使吸水部和刷膜部均置于孔洞外部；激光测量组件发射的激光束能穿过孔洞，测量工件覆盖水膜部位厚度。通过本发明，能实现工件抛光过程在线厚度检测，避免加工水中的磨削颗粒对于检测精度干扰。
申请人信息
- 申请人:苏州博宏源机械制造有限公司
- 申请人地址:215100 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间
- 发明人: 苏州博宏源机械制造有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 测量装置及抛光系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311637275.1 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117506703A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | B24B37/005 |
| 权利人 | 苏州博宏源机械制造有限公司 |
| 发明人 | 任明元; 梁春; 张景斌; 刘文平 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间 |
专利主权项内容
1.测量装置，用于检测工件(100)的厚度，其特征在于，包括：驱动件(1)；吸水部(2)，所述吸水部(2)通过连接件(4)与所述驱动件(1)连接；刷膜部(3)，所述刷膜部(3)通过所述连接件(4)与所述驱动件(1)连接；所述吸水部(2)具有置于上抛光垫(200)的孔洞(210)的第一状态，所刷膜部(3)具有置于所述孔洞(210)的第二状态；当所述连接件(4)带动所述吸水部(2)位于所述第一状态时，所述刷膜部(3)位于所述孔洞(210)的外部，所述吸水部(2)用于吸收所述工件(100)与所述孔洞(210)相对部位的加工水和所述加工水中的杂质；当所述连接件(4)带动所述刷膜部(3)位于所述第二状态时，所述吸水部(2)位于所述孔洞(210)的外部，所述刷膜部(3)用于向所述工件(100)与所述孔洞(210)相对部位覆盖水膜，所述连接件(4)能带动所述吸水部(2)和所述刷膜部(3)均置于所述孔洞(210)外部；激光测量组件(7)，当所述吸水部(2)和所述刷膜部(3)均置于所述孔洞(210)外部时，所述激光测量组件(7)发射的激光束能穿过所述孔洞(210)，测量所述工件(100)覆盖有所述水膜的部位的厚度。。来源：马 克 团 队