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一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置
摘要文本
本发明公开了一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，还包括外壳、驱动座以及移动件，其中，所述外壳与所述齿圈限位连接，所述驱动座固定设置在所述外壳上，所述移动件滑动设置在所述驱动座且与所述太阳轮固定连接，所述驱动座内部开设有多个环槽，且相邻两个环槽之间开设有缺口，所述缺口处设置有导向机构，所述导向机构能够将多个所述环槽连通使其形成螺旋通道，所述移动件外部固定设置有导块，所述导块能够沿所述螺旋通道滑动。 （） （来 自 专利查询网）
申请人信息
- 申请人:苏州博宏源机械制造有限公司
- 申请人地址:215100 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间
- 发明人: 苏州博宏源机械制造有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311514162.2 |
| 申请日 | 2023/11/14 |
| 公告号 | CN117532480A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | B24B29/02 |
| 权利人 | 苏州博宏源机械制造有限公司 |
| 发明人 | 任明元; 强彦东; 张景斌; 刘文平 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间 |
专利主权项内容
1.一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，其特征在于：还包括外壳(1)、驱动座(2)以及移动件(3)，其中，所述外壳(1)与所述齿圈限位连接，所述驱动座(2)固定设置在所述外壳(1)上，所述移动件(3)滑动设置在所述驱动座(2)且与所述太阳轮固定连接；所述驱动座(2)内部开设有多个环槽(21)，且相邻两个环槽(21)之间开设有缺口(22)，所述缺口(22)处设置有导向机构(4)，所述导向机构(4)能够将多个所述环槽(21)连通使其形成螺旋通道，所述移动件(3)外部固定设置有导块(31)，所述导块(31)能够沿所述螺旋通道滑动。。马-克-数据