一种用于机器视觉检测的双远心镜头
摘要文本
本披露公开了一种用于机器视觉检测的双远心镜头。该双远心镜头的放大倍率为‑10×，物方数值孔径为0.4，物方视场为8mm，工作波长为457nm和532nm。该镜头由物方镜组和像方镜组两部分组成，物方镜组和像方镜组均为无限共轭远心系统，这样便于在物方镜组和像方镜组之间增加其它光学元件和照明系统。物方镜组为七组透镜组成，像方镜组为五组透镜组成，该双远心镜头可以在像方镜组和传感器之间设置二向色镜，进而利用不同波长分光以实现明暗场缺陷的同时检测。通过本披露实施例的光学方案，能够在满足高分辨率检测精度的同时，提供远大于显微物镜的视场，从而极大地提升检测效率。
申请人信息
- 申请人:苏州高视半导体技术有限公司
- 申请人地址:215153 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室
- 发明人: 苏州高视半导体技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于机器视觉检测的双远心镜头 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311742194.8 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN117420663B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | G02B13/22 |
| 权利人 | 苏州高视半导体技术有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室 |
专利主权项内容
1.一种用于机器视觉检测的双远心镜头，其特征在于，包括：物方镜组和像方镜组；其中所述物方镜组沿着光轴由物侧至像侧依序为：第一物方透镜组(21)，其为双胶合负透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值；第二物方透镜组(22)，其为双胶合正透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于或大于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第一物方透镜组(21)的第二面；第三物方透镜组(23)，其为双胶合正透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第二物方透镜组(22)的第二面；第三物方透镜组(23)由沿着光轴由物侧至像侧依序设置的第五物方透镜(231)和第六物方透镜(232)构成，其中所述第五物方透镜(231)为弯月负透镜，所述第六物方透镜(232)为双凸正透镜；第四物方透镜组(24)，其为双胶合负透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第三物方透镜组(23)的第二面；第四物方透镜组(24)由沿着光轴由物侧至像侧依序设置的第七物方透镜(241)和第八物方透镜(242)构成，其中所述第七物方透镜(241)为双凹负透镜，所述第八物方透镜(242)为双凸正透镜；第九物方透镜(25)，其为弯月负透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第四物方透镜组(24)的第二面；第十物方透镜(26)，其为弯月正透镜，其第一面的曲率半径绝对值大于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第九物方透镜(25)的第二面；以及第十一物方透镜(27)，其为弯月负透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第十物方透镜(26)的第二面；其中所述像方镜组沿着光轴由物侧至像侧依序为：第一像方透镜组(11)，其为双胶合正透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值；第一像方透镜组(11)由沿着光轴由物侧至像侧依序设置的第一像方透镜(111)和第二像方透镜(112)构成，其中所述第一像方透镜(111)为弯月正透镜，所述第二像方透镜(112)为弯月负透镜；第二像方透镜组(12)，其为双胶合负透镜，其第一面的曲率半径绝对值大于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第一像方透镜组的第二面；第二像方透镜组(12)由沿着光轴由物侧至像侧依序设置的第三像方透镜(121)和第四像方透镜(122)构成，其中所述第三像方透镜(121)为双凸正透镜，所述第四像方透镜(122)为弯月负透镜；第五像方透镜(13)，其为弯月负透镜，其第一面的曲率半径绝对值小于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第二像方透镜组的第二面；第六像方透镜(14)，其为弯月正透镜，其第一面的曲率半径绝对值大于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第五像方透镜的第二面；以及第七像方透镜(15)，其为双凸正透镜，其第一面的曲率半径绝对值大于其第二面的曲率半径绝对值，且其第一面朝向所述第六像方透镜的第二面。