基于连续激光的功能微电子器件激光增材制造方法及系统

专利主权项内容

1.一种基于连续激光的功能微电子器件激光增材制造系统，其特征在于，包括532 nm连续波激光器和沿激光光束路径上依次设置的声光调制器、透镜、振镜、反射镜和物镜以及设于所述物镜的底部的用于放置待加工样品的加工平台；所述声光调制器连接射频驱动器，所述射频驱动器由独立电源供电，并经过信号源提供模拟信号和数字信号进行开关及衍射效率的实时调控，通过所述声光调制器和射频驱动模块调控激光功率；所述透镜用于激光光束的准直、聚焦和扩束；所述振镜用于控制激光光束的偏转；所述反射镜用于将所述振镜调节后发射的激光光束竖直入射到所述物镜中，所述反射镜的数量为两个，两个反射镜成镜像对称布置；所述物镜用于将所述532 nm连续波激光器发射的激光光束聚焦在所述待加工样品上以进行激光扫描打印；所述加工平台包括可在水平面移动的二维自动载物台和设于所述二维自动载物台上方的重载XYZ三维纳米定位台，待加工样品适于水平放置于所述重载XYZ三维纳米定位台上；数模转换器，其与计算机连接，所述声光调制器、振镜和加工平台分别与所述数模转换器之间信号连接，通过所述计算机内的软件界面的操控控制所述加工平台按照预设加工路径移动以实现激光焦点在所述待加工样品上的移动。