← 返回列表
一种薄膜氢气传感器及其制备方法
摘要文本
本发明公开了一种薄膜氢气传感器，其包括基底、用于检测氢气浓度的氢气测量单元、键合玻璃，所述氢气测量单元具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，所述惠斯通电桥结构由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成，每个桥臂上的氢敏电阻元件个数相同，其中两个相对的桥臂上为用于氢气测量的氢敏电阻元件，另两个相对的桥臂上为参比氢敏电阻元件。键合玻璃靠近基底的一端设置有凹槽，凹槽壁顶部与基底密封连接而在凹槽内形成密闭空腔，参比氢敏电阻位于密闭空腔内。该传感器生产工艺简单成熟，传感器的灵敏度和测量精度高，且无需加热元件从而大大降低传感器功耗。
申请人信息
- 申请人:苏州海卓赛思科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢601室
- 发明人: 苏州海卓赛思科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种薄膜氢气传感器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311519039.X |
| 申请日 | 2023/11/15 |
| 公告号 | CN117388330A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | G01N27/12 |
| 权利人 | 苏州海卓赛思科技有限公司 |
| 发明人 | 景涛; 陈浩; 贺海浪; 翁建青 |
| 地址 | 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢601室 |
专利主权项内容
1.一种薄膜氢气传感器，其特征在于，包括基底(1)、用于检测氢气浓度的氢气测量单元(2)、键合玻璃(3)，所述氢气测量单元(2)为具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，所述惠斯通电桥结构由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成，每个桥臂上的氢敏电阻元件个数相同，其中两个相对的桥臂上设有用于氢气测量的氢敏电阻元件(21)，另两个相对的桥臂上设有参比氢敏电阻元件(22)；所述基底(1)上下两面对应设置有上氧化物绝缘层(4)和下氧化物绝缘层(5)，所述氢敏电阻元件(21)位于上氧化物绝缘层(4)上，参比氢敏电阻元件(22)位于下氧化物绝缘层(5)上；所述键合玻璃(3)靠近基底(1)的一端设置有凹槽(31)，凹槽壁顶部(32)与基底(1)密封连接而在凹槽(31)内形成密闭空腔，所述参比氢敏电阻(22)位于所述密闭空腔内；所述参比氢敏电阻元件(22)上连接金属引针(34)，所述金属引针(34)一端连接参比氢敏电阻元件(22)，另一端相对键合玻璃(3)背离基底(1)的一端伸出。。该数据由<马克数据网>整理