一种氧化锌半导体激光增材制造系统及工艺方法

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来源：百度搜索专利查询网 本发明公开了一种氧化锌半导体激光增材制造系统及工艺方法，该系统包括飞秒激光器、连续波激光器、光调制组件和显微镜物镜，所述飞秒激光器发出的激光和所述连续波激光器发出的激光经光调制组件能够调制到重叠状态，且两束激光均能进入所述显微镜物镜，所述显微镜物镜上方设有盖玻片，金属/氧化锌墨水滴加在盖玻片上，激光经过物镜聚焦于墨水和盖玻片交界面，实现金属/半导体微纳结构的打印；此外，通过黄光、二色镜和CCD相机进行高效组合，实现加工过程的实时记录。本发明中激光打印半导体的方法，操作过程简单，无需复杂的工艺流程和严苛的洁净室环境，打印的最小特征尺寸<1μm，也无需昂贵复杂的流片操作。