钯合金氢气传感器及其温度补偿方法
摘要文本
本发明公开了一种钯合金氢气传感器及其温度补偿方法，所述温度补偿方法包括在基准温度下向传感器通入N种不同浓度的氢气，对得到的N组氢敏电阻值与氢气浓度进行拟合，生成标准拟合方程；在M个不同温度下，向传感器通入氮气、较低浓度氢气和较高浓度氢气，并计算出不同温度下通入不同浓度氢气时的氢敏电阻值与基准温度下的氢敏电阻值的差值，生成第一、第二和第三拟合方程；利用测量的实时温度以及第一、第二和第三拟合方程得到动态补偿方程，进而计算出氢敏电阻补偿值；根据氢敏电阻补偿值以及标准拟合方程计算出最终的氢气浓度。本发明在进行氢气浓度测量时无需对传感器进行加热，降低了传感器使用时的功耗。
申请人信息
- 申请人:苏州海卓赛思科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢601室
- 发明人: 苏州海卓赛思科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 钯合金氢气传感器及其温度补偿方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311720313.X |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN117705893A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01N27/12 |
| 权利人 | 苏州海卓赛思科技有限公司 |
| 发明人 | 贺海浪; 景涛; 陈浩; 王云志 |
| 地址 | 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢601室 |
专利主权项内容
1.一种钯合金氢气传感器的温度补偿方法，其特征在于，所述温度补偿方法包括标定阶段以及测量阶段，所述标定阶段包括：将钯合金氢气传感器的氢敏芯体加热至基准温度并保持，然后依次向钯合金氢气传感器通入N种不同浓度的氢气，得到N组氢敏电阻值与氢气浓度；对N组氢敏电阻值与氢气浓度进行拟合，生成关于氢敏电阻与氢气浓度的标准拟合方程；将钯合金氢气传感器的氢敏芯体分别加热至M个不同温度，在每个温度下向钯合金氢气传感器通入氮气，得到氮气和M个不同温度下的氢敏电阻值；分别计算出M个不同温度下通入氮气时的氢敏电阻值与基准温度下通入氮气时的氢敏电阻值的第一差值，对M个不同温度下的第一差值进行拟合，生成第一拟合方程；其中，所述M个不同温度包含基准温度；将钯合金氢气传感器的氢敏芯体分别加热至M个不同温度，在每个温度下向钯合金氢气传感器通入较低浓度氢气，得到较低浓度氢气和M个不同温度下的氢敏电阻值；分别计算出M个不同温度下通入较低浓度氢气时的氢敏电阻值与基准温度下通入较低浓度氢气时的氢敏电阻值的第二差值，对M个不同温度下的第二差值进行拟合，生成第二拟合方程；其中，所述较低浓度氢气为N种不同浓度氢气中的较低浓度的氢气；将钯合金氢气传感器的氢敏芯体分别加热至M个不同温度，在每个温度下向钯合金氢气传感器通入较高浓度氢气，得到较高浓度氢气和M个不同温度下的氢敏电阻值；分别计算出M个不同温度下通入较高浓度氢气时的氢敏电阻值与基准温度下通入较高浓度氢气时的氢敏电阻值的第三差值，对M个不同温度下的第三差值进行拟合，生成第三拟合方程；其中，所述较高浓度氢气为N种不同浓度氢气中的较高浓度的氢气；所述测量阶段包括：采集钯合金氢气传感器的氢敏芯体的实时温度，根据所述实时温度、基准温度下不同浓度氢气时的氢敏电阻值、第一拟合方程、第二拟合方程以及第三拟合方程得到每个实时温度下的动态坐标点；对不同实时温度下的动态坐标点进行拟合，得到动态补偿方程；根据钯合金氢气传感器测量的氢敏电阻值和动态补偿方程计算出氢敏电阻补偿值；根据钯合金氢气传感器测量的氢敏电阻值、氢敏电阻补偿值以及标准拟合方程，得到最终的氢气浓度值。 该数据由<马克数据网>整理