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腔面清洁钝化方法
摘要文本
本发明提供了一种腔面清洁钝化方法，涉及激光器的技术领域，所述腔面清洁钝化方法包括按照顺序进行的：步骤S1.加热腔面，以去除腔面上的易脱附杂质；步骤S2.在加热条件下，通入氧化气体，以去除有机杂质；步骤S3.在加热条件下，通入还原性气体，以去除氧化杂质；步骤S4.去除无机杂质；步骤S5.腔面钝化。
申请人信息
- 申请人:度亘核芯光电技术(苏州)有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区金鸡湖大道99号东北区32幢
- 发明人: 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 腔面清洁钝化方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311364704.2 |
| 申请日 | 2023/10/20 |
| 公告号 | CN117096724B |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H01S5/028 |
| 权利人 | 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 魏文超; 徐荣靖; 郑志川; 刘中华; 李颖; 惠利省; 杨国文 |
| 地址 | 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区金鸡湖大道99号东北区32幢 |
专利主权项内容
1.一种腔面清洁钝化方法，其特征在于，包括按照顺序进行的：步骤S1.加热腔面，以去除腔面上的易脱附杂质；步骤S21.在加热条件下，利用氟离子与腔面上的氢成分反应，以去除有机杂质中的氢成分；步骤S22.在加热条件下，利用氧气，以去除有机杂质中的碳成分，并在腔面上形成临时氧化层；步骤S31. 在加热条件下，利用氢气去除步骤S22中形成的临时氧化层；步骤S32. 在加热条件下，利用一氧化氮去除腔面上原本存在的氧化层，并在所述腔面上形成临时钝化层；步骤S4.去除无机杂质；步骤S5.腔面钝化。