一种晶圆机台故障处理的自动化排序系统及方法
摘要文本
本发明涉及晶圆技术领域，具体涉及一种晶圆机台故障处理的自动化排序系统及方法，包括：获取晶圆加工数据；根据晶圆加工数据确定待处理的故障信息，故障信息包括故障机台与故障数据；采用预设排序规则根据故障信息获取到排序方案；按照设定匹配规则在人员数据库中检索与故障信息匹配的工程师ID；当存在至少两个故障对应于同一工程师ID，且至少两个故障之间的间隔时间属于设定时间内时，将对应的至少两个故障设定为同一处理顺序并获取到新排序方案；且当新排序方案符合对应安全等待时间时输出新排序方案。本发明通过对故障的初步分析结果与工厂人力资源配置进行协调，提出了一种能够优化故障处理效率，节省人力成本的排序方案。
申请人信息
- 申请人:芯率智能科技(苏州)有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G3-302-017单元
- 发明人: 芯率智能科技(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆机台故障处理的自动化排序系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311589717.X |
| 申请日 | 2023/11/27 |
| 公告号 | CN117575253A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | G06Q10/0631 |
| 权利人 | 芯率智能科技(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 苏远丽; 杨鑫; 杜余峰; 王明照; 沈明杰; 马佳豪 |
| 地址 | 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G3-302-017单元 |
专利主权项内容
1.一种晶圆机台故障处理的自动化排序系统，其特征在于，包括：加工数据获取模块，被配置为用于获取晶圆加工数据，且所述晶圆加工数据包括：机台数据；故障信息获取模块，被配置为用于根据所述晶圆加工数据获取待处理的故障信息，所述故障信息包括：故障机台，以及故障相关数据；第一排序模块，被配置为用于采用预设排序规则根据所述故障信息获取到第一排序方案；人员数据库，且人员数据库中包括：至少一个工程师ID，且所述工程师ID关联有以下一种或多种类型的标签：技术背景标签，能力等级标签，机台类型标签；人员匹配模块，被配置为用于按照预设第一匹配规则在所述人员数据库中检索与所述故障信息相匹配的工程师ID；所述第一匹配规则要求所述工程师ID的技术背景标签与故障类型相同，并且所述工程师ID的机台类型标签与所述故障机台相匹配；第一动态调节模块，被配置为用于当存在至少两个故障对应于同一个工程师ID，且所述至少两个故障之间的间隔时间属于预设的第一时间范围时，将对应的至少两个故障设定为同一处理顺序，并对应地得到第二排序方案；排序方案输出模块，被配置为用于根据第二排序方案计算对应故障的等效等待时间；且当所述等效等待时间小于安全等待时间时，则输出所述第二排序方案。 马 克 数 据 网