扫描电子显微镜镜筒内二次电子探测方法及系统

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本发明公开了一种扫描电子显微镜镜筒内二次电子探测方法及系统，其中，镜筒内由下至上依次设置有加速电极和二次电子探测器，所述二次电子探测器外设有一电极罩，所述方法包括：于所述加速电极上加上一第一电压以形成将样品表面产生的二次电子吸入镜筒内的第一压差；于所述电极罩上加上一第二电压以使进入镜筒内的二次电子缓慢加速至具有与所述第二电压相对应的能量以进入所述二次电子探测器内被探测。本发明的探测方法在不改变电镜整体系统的结构的情况下，仅通过引入第一电压和第二电压进行协同作用，解决了目前设备20kV以上成像能量无法使用镜筒内二次电子探测器的问题，同时能够使二次电子具备足够的能量进入二次电子探测器内被探测。