一种双极性场效应管及其制备方法

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本申请实施例提供了一种双极性场效应管及其制备方法。双极性场效应管包括：第一掺杂类型的漂移区，所述漂移区形成在双极性场效应管的元胞区和终端区；多个沿竖直方向延伸并沿横向方向间隔分布的第二掺杂类型的柱区，布置在所述第一掺杂类型的漂移区内；在元胞区内的柱区上部由近及远依次设置有第一掺杂类型区及反型形成的第二掺杂类型的阱区；其中，在终端区内，第一掺杂类型的漂移区上方设置有场氧化层，终端区内的柱区与所述场氧化层接触。本申请实施例解决了传统超级结IGBT的终端区的承压能力受限的技术问题。