← 返回列表
一种侧面曝光装置
摘要文本
本发明提供了一种侧面曝光装置,侧面曝光装置包括框型光源底板、四个侧边光源条模组和两个内光源条模组;侧边光源条模组安装在光源底板的底面四周,两个内光源条模组并行间隔的安装在光源底板中间,内光源条模组与侧边光源条模组配合实现对下方的一个半片、一个整片或两个半片的片材产品进行曝光;本申请的侧面曝光装置设计新颖,结构简单,可对多种型号的片材进行侧面及棱面的曝光,且对正反两面无影响,保证了产品的侧面高效曝光,便于在光伏、半导体中片材产品(如硅片、电池片)的侧面图形化领域中推广应用。
申请人信息
- 申请人:苏州天准科技股份有限公司
- 申请人地址:215153 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
- 发明人: 苏州天准科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种侧面曝光装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311455437.X |
| 申请日 | 2023/11/3 |
| 公告号 | CN117406558A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号 |
专利主权项内容
1.一种侧面曝光装置,其特征在于:侧面曝光装置包括框型光源底板(1)、侧边光源条模组(2)和内光源条模组(3);侧边光源条模组(2)安装在光源底板(1)的底面四周,两个内光源条模组(3)并行间隔的安装在光源底板(1)中间,内光源条模组(3)与侧边光源条模组(2)配合实现对下方的一个半片、一个整片或两个半片的片材产品进行曝光。 微信公众号马克数据网