一种可弯曲且具有高光电转换效率的硅异质结太阳能电池及其制法

摘要文本

本发明公开了一种可弯曲且具有高光电转换效率的硅异质结太阳能电池，包括硅基底层；在硅基底层正面依次沉积有氢化非晶硅氧层、氢化非晶硅层、n型氢化纳米晶硅氧层和透明导电氧化物层；在硅基底层背面依次沉积有氢化非晶硅氧层、氢化非晶硅层、p型氢化纳米晶硅层和透明导电氧化物层；在透明导电氧化物层上印刷有金属电极。本发明还公开了上述硅异质结太阳能电池的制备方法，具体为：对硅基底层进行减薄、制绒处理；在硅基底层上连续沉积氢化非晶硅氧层和氢化非晶硅层，形成钝化层；利用二氧化碳和氢气混合气体在两侧钝化层上进行等离子体预处理，实现钝化层浅表面的纳米晶播种；在经过纳米晶播种的正面钝化层上垂直生长掺磷的n型纳米晶硅氧层；在经过纳米晶播种的背面钝化层上垂直生长掺硼的p型纳米晶硅层；沉积铈掺杂氧化铟作为透明导电氧化物层，再在透明导电氧化物层上印刷金属电极。