一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法

摘要文本

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法，图形化蓝宝石衬底的制备方法包括以下步骤：S100在蓝宝石衬底表面涂布光刻胶稀释剂，形成RRC膜；S200在蓝宝石衬底的RRC膜上涂布光刻胶，形成光刻胶膜，所述光刻胶膜的厚度沿衬底中心向衬底边缘方向减小；S300通过图形转印技术使蓝宝石衬底上的光刻胶膜形成光刻胶胶柱，所述光刻胶胶柱的高度沿衬底中心向衬底边缘方向减小；S400在光刻胶胶柱的保护下对蓝宝石衬底进行刻蚀，得到图形化蓝宝石衬底。本发明的制备方法能够提高图形化蓝宝石衬底的均匀性，从而提高芯片的整体质量。