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采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法
摘要文本
本发明公开一种采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法，包括高功率脉冲电源、辅助电源；所述高功率脉冲电源负极与辅助电源正极串联连接，串联后的高功率脉冲电源正极作为放电负载阳极并通过负载阴极与辅助电源负极连接。本发明维护了所需的H i PI MS正常工作状态，提高了沉积速度，有效抑制弧光放电产生的靶材颗粒降低了污染镀件，从而提高了膜层性能；稳定维持高功率磁控溅射放电，直至脉冲截止；此外，由于高功率电源充电限流电感的存在，高功率脉冲放电开关管的导通不会造成高功率脉冲电源的过载而损坏；高功率电源储能电容在有效脉冲期间维持稳定的高功率脉冲放电。 微信公众号马克 数据网
申请人信息
- 申请人:唐山标先电子有限公司
- 申请人地址:064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西
- 发明人: 唐山标先电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311651507.9 |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN117614309A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | H02M9/04 |
| 权利人 | 唐山标先电子有限公司 |
| 发明人 | 窦久存; 赵文军 |
| 地址 | 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西 |
专利主权项内容
1.一种采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源，包括高功率脉冲电源、辅助电源，其特征为：所述高功率脉冲电源负极与辅助电源正极串联连接，串联后的高功率脉冲电源正极作为放电负载阳极并通过负载阴极与辅助电源负极连接。。来自：