← 返回列表
一种半导体基底清洁装置
摘要文本
本发明涉及清洁技术领域，具体是一种半导体基底清洁装置，所述支撑柱板的顶部固定连接有安装顶板，所述支撑柱板的顶部固定连接有运输电机，运输电机的输出端固定连接有运输带，运输带与安装顶板转动连接，所述运输带的表面等距固定连接有夹持固定块，夹持固定块的内侧滑动卡接有滑动内卡块，所述滑动内卡块的底部固定连接有两个伸缩内柱，所述伸缩内柱的外侧滑动卡接有伸缩外筒，所述伸缩外筒的底部固定连接有吸附安装板，通过滑动内卡块及底部装置的设置，以及运输带和夹持固定块的设置，可以避免人工的参与，同时可以达到，下沉及捞起的过程，通过烘干箱可以进行烘干，增加清洁的效率和保护人员的安全。
申请人信息
- 申请人:张家口众安鑫辰机电技术有限公司
- 申请人地址:075000 河北省张家口市涿鹿县涿鹿镇杨家屯村395号
- 发明人: 张家口众安鑫辰机电技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体基底清洁装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311661283.X |
| 申请日 | 2023/12/6 |
| 公告号 | CN117637548A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 张家口众安鑫辰机电技术有限公司 |
| 发明人 | 唐乐 |
| 地址 | 河北省张家口市涿鹿县涿鹿镇杨家屯村395号 |
专利主权项内容
1.一种半导体基底清洁装置，包括安装底桌(1)、支撑柱板(2)，其特征在于：所述支撑柱板(2)的顶部固定连接有安装顶板(4)，所述支撑柱板(2)的顶部固定连接有运输电机(5)，运输电机(5)的输出端固定连接有运输带(6)，运输带(6)与安装顶板(4)转动连接，所述运输带(6)的表面等距固定连接有夹持固定块(7)，夹持固定块(7)的内侧滑动卡接有滑动内卡块(16)，所述滑动内卡块(16)的底部固定连接有两个伸缩内柱(17)，所述伸缩内柱(17)的外侧滑动卡接有伸缩外筒(18)，所述伸缩外筒(18)的底部固定连接有吸附安装板(20)，所述伸缩外筒(18)的侧部顶端固定连接有梯形斜块(19)，所述伸缩外筒(18)的内部活动安装有压缩弹簧(21)，所述压缩弹簧(21)的两端分别与伸缩内柱(17)和吸附安装板(20)固定连接。