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一种放电反应制备乙硅烷的方法及系统

申请号: CN202311143518.6
申请人: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请日期: 2023/9/6

摘要文本

本申请公开了一种放电反应制备乙硅烷的方法,所述方法包括以下步骤:S1:将甲硅烷和配气混合形成混合气体,S2:将混合气体通入反应器中进行放电反应,得到粗品气,S3:将粗品气冷凝后形成粗品液,S4:将粗品液汽化后进行提纯。本申请还公开了一种放电反应制备乙硅烷的系统,依次包括供气系统、反应系统、氮气系统、尾气处理系统、充装系统通过管路连接。经过本申请公开的制备方法可以提高乙硅烷的收率,并且乙硅烷的纯度高达99.9999%,并且使用该系统制备乙硅烷的工艺简单,能耗低,成本小。 专利查询网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种放电反应制备乙硅烷的方法及系统
专利类型 发明申请
申请号 CN202311143518.6
申请日 2023/9/6
公告号 CN117383565A
公开日 2024/1/12
IPC主分类号 C01B33/04
权利人 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
发明人 武建鹏; 陈润泽; 李欣; 倪珊珊; 吕舜; 张旭; 王中彪; 杨少飞
地址 河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号(经营场所 : 纬五路1号、世纪大街6号)

专利主权项内容

1.一种放电反应制备乙硅烷的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:将甲硅烷和配气混合形成混合气体;S2:将混合气体通入反应器中进行放电反应,得到粗品气;S3:将粗品气冷凝后形成粗品液;S4:将粗品液汽化后进行提纯。