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一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法
摘要文本
本发明公开了一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法,固态添加剂由以下原料经物料混合、压片等步骤制成:15‑30%的崩解剂、5‑20%的润滑剂、35‑50%的填充剂、3‑15%的粘合剂、20‑35%的活性物质;崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸组成;粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种。本发明通过控制固态添加剂片剂中各组分的占比,使片剂在含碱热水中既能快速崩解也能对硅片进行有效抛光,并兼具降低生产成本、提高生产效率与抛光效率、延长产品有效期的优点。
申请人信息
- 申请人:绍兴拓邦新能源股份有限公司
- 申请人地址:312000 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1
- 发明人: 绍兴拓邦新能源股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311380142.0 |
| 申请日 | 2023/10/24 |
| 公告号 | CN117683469A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | C09G1/18 |
| 权利人 | 绍兴拓邦新能源股份有限公司 |
| 发明人 | 赵晶; 魏从岳; 赵建南; 张震华 |
| 地址 | 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1 |
专利主权项内容
1.一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂,其特征在于:该固态添加剂由以下质量百分含量的原料制成:15-30%的崩解剂、5-20%的润滑剂、35-50%的填充剂、3-15%的粘合剂、20-35%的活性物质;所述崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸按质量比为1:1-3组成;所述粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;所述活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种。