← 返回列表

一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法

申请号: CN202311380142.0
申请人: 绍兴拓邦新能源股份有限公司
申请日期: 2023/10/24

摘要文本

本发明公开了一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法,固态添加剂由以下原料经物料混合、压片等步骤制成:15‑30%的崩解剂、5‑20%的润滑剂、35‑50%的填充剂、3‑15%的粘合剂、20‑35%的活性物质;崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸组成;粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种。本发明通过控制固态添加剂片剂中各组分的占比,使片剂在含碱热水中既能快速崩解也能对硅片进行有效抛光,并兼具降低生产成本、提高生产效率与抛光效率、延长产品有效期的优点。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311380142.0
申请日 2023/10/24
公告号 CN117683469A
公开日 2024/3/12
IPC主分类号 C09G1/18
权利人 绍兴拓邦新能源股份有限公司
发明人 赵晶; 魏从岳; 赵建南; 张震华
地址 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1

专利主权项内容

1.一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂,其特征在于:该固态添加剂由以下质量百分含量的原料制成:15-30%的崩解剂、5-20%的润滑剂、35-50%的填充剂、3-15%的粘合剂、20-35%的活性物质;所述崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸按质量比为1:1-3组成;所述粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;所述活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种。