一种体声波谐振器件及其制备方法

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本申请公开了一种体声波谐振器件及其制备方法，涉及谐振器技术领域，本申请的体声波谐振器件，包括衬底以及设置于衬底上的多个谐振组件，谐振组件包括依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极，多个谐振组件依次连接形成连接环，其中，相邻两个谐振组件中一个谐振组件的顶电极与另一个谐振组件底电极连接，间隔一个谐振组件的两个第一谐振组件的顶电极相连用于连接输入信号，两个第一谐振器的底电极相连用于连接输出信号。本申请提供的体声波谐振器件及其制备方法，能够在不增大体声波谐振器件占用面积的基础上，提高二次谐波的抑制效果。