一种硅材料提纯装置及其使用方法
摘要文本
本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法,包括炉体、观察窗、入料机构、摆动组件、真空组件、电子枪、电子束、铺平组件、闭合组件、支撑杆、电动杆、熔炼坩埚、冷水管、凝固坩埚,本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法,本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法,通过设置摆动组件和铺平组件,将投入原料硅分点投放,避免原料硅在熔炼坩埚内过分集中、堆积,通过装配体的转动,使装配体与熔炼坩埚平行,并驱动铺平架的移动,对原料硅进行铺平,使原料硅各处厚度相近,便于后续快速、均匀的融练,该摆动组件和铺平组件从源头避免了原料硅的堆积,便于后续均匀、快速的融练原料硅。
申请人信息
- 申请人:海南师范大学
- 申请人地址:570100 海南省海口市龙昆南路99号
- 发明人: 海南师范大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅材料提纯装置及其使用方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311622017.6 |
| 申请日 | 2023/11/30 |
| 公告号 | CN117566744A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | C01B33/037 |
| 权利人 | 海南师范大学 |
| 发明人 | 赵世华; 梁平; 夏梓文; 冯扬; 周紫阳; 吴玟倩; 彭鸿雁 |
| 地址 | 海南省海口市龙昆南路99号 |
专利主权项内容
1.一种硅材料提纯装置,其特征在于:包括炉体(1)、观察窗(2)、入料机构(3)、摆动组件(4)、真空组件(5)、电子枪(6)、电子束(7)、铺平组件(8)、闭合组件(9)、支撑杆(10)、电动杆(11)、熔炼坩埚(12)、冷水管(13)、凝固坩埚(14);所述炉体(1)的左端设置有观察窗(2),且其顶端安装有入料机构(3);所述摆动组件(4)安装于炉体(1)的内部,所述真空组件(5)安装于炉体(1)的顶端;所述电子枪(6)安装于炉体(1)的顶端,且其右端与真空组件(5)相连接,所述电子枪(6)向下发出电子束(7),照射至熔炼坩埚(12);所述铺平组件(8)安装于炉体(1)的内部,所述闭合组件(9)安装于炉体(1)的右端,且其左端与熔炼坩埚(12)相契合;所述支撑杆(10)和电动杆(11)的底端分别与炉体(1)相固定,且其顶端均与熔炼坩埚(12)转动连接;所述熔炼坩埚(12)的内部设置有冷水管(13),所述凝固坩埚(14)放置于炉体(1)的内部所述铺平组件(8)包括气缸(81)、连接架(82)、齿条(83)、齿轮(84)、装配体(85)、支撑块(86)、电机(87)、丝杆(88)、滑座(89)、铺平架(810);所述气缸(81)安装于炉体(1)的内部,且其顶端与连接架(82)锁紧固定,所述连接架(82)的顶端固定有齿条(83),所述齿条(83)的右端与齿轮(84)啮合连接,所述齿轮(84)固定于装配体(85)的前端外侧,所述装配体(85)的后端与支撑块(86)转动连接,且其前端与炉体(1)转动连接,所述支撑块(86)的左端与炉体(1)相固定,所述装配体(85)的内部安装有电机(87),所述电机(87)的前端采用联轴器与丝杆(88)传动连接,所述丝杆(88)的前端与装配体(85)活动连接,所述滑座(89)的内侧与丝杆(88)螺纹连接,且其底端固定有铺平架(810)。